Обо всём этом рассказал в интервью Zelenograd.ru Виталий Разумов, генеральный директор НПП ЭСТО.

— Производство отечественного оборудования для микроэлектроники, потенциал и вызовы — такой была тема вашего выступления на форуме микроэлектронной отрасли SEMICON Russia. В чем суть вашей позиции?

— Минпромторг поставил цели импортозамещения более чем по 500 направлениям. Среди основных — производство технологического оборудования, электронной компонентной базы и сопутствующих изделий. Кроме того, производство самого технологического оборудования — это цель машиностроителей. Производители электронной компонентной базы тратят 40-60% от финансирования своих проектов на покупку технологического оборудования. И сегодня, если мы хотим говорить об импортозамещении, перед производителями российского оборудования стоят достаточно высокие и значимые задачи.

Это и есть вызовы, которые сформулировал Минпромторг. Почему они возникли — понятно, такова международная ситуация, многие предприятия уже сталкиваются либо с отказом в продаже конкретных единиц оборудования целиком, либо с отказом на поставку запчастей и комплектующих для уже поставленного оборудования. Конечно, существуют пути обхода, и предприятия находят их, в том числе помогают наши партнеры из Юго-восточной Азии. Наша компания тоже работает с ними, занимаясь полным оснащением производств, включая поставки импортных позиций.

— Заместить 60% импорта в электронном машиностроении к 2021-2023 году — это реально, по вашему мнению? Или имеются в виду только некоторые узкие направления?

— По некоторым направлениям у нас сегодня вообще не производится оборудование: это, например, оборудование ионной имплантации, литографы с высоким разрешением и много других позиций, по которым производство в России полностью утрачено. Есть позиции, по которым от 5% до 20% российского оборудования. Часть оборудования, которое необходимо отечественным предприятиям, производится несоответствующего качества, несоответствующее техническим заданиям, нормам и спецификациям. Поставлена задача к 2022 году довести уровень российского производства до 60% по всем направлениям — где-то с 0%, где-то с 5-20%.

Теперь о нашем потенциале. Предприятия группы компаний ЭСТО занимаются производством нового оборудования с 2002 года. Наше предприятие «Электронсервис» работало с этим и ранее, но занималось глубокой модернизацией, ремонтом, поддержанием, заменой элементной базы. С 2002 года всё это начало перерастать в производство нового оборудования.

Очень успешно у нас развиваются лазерное и вакуумное направление. Производим немного сборочного оборудования, литографического и фотолитографического. Партнеры группы компаний ЭСТО в Нижнем Новгороде делают оборудование для так называемых мокрых процессов. Плюс у нас остаётся производственная база и опыт работы по модернизации и ремонту. Вообще знание технологического оборудования позволяет нам изготавливать оборудование нестандартное, под конкретного заказчика, несерийное — для сложных технологических процессов, специального назначения и т. д.

— Как вы оцениваете свою долю рынка в России?

— У всех предприятий, входящих в группу компаний ЭСТО, она достаточно велика. Точно оценить очень тяжело, нет открытых сведений о предприятиях, которые выпускают аналогичное оборудование. Но, например, по лазерной тематике для микроэлектроники, думаю, мы занимаем около 60% доли рынка среди российских производителей. По сравнению с импортом наши лазеры занимают от 20% до 40%. В этом направлении широкая номенклатура, есть вещи, которые мы вообще не умеем делать — рынок маленький, спрос единичный, и мы не имеем возможности вкладывать большие собственные средства в разработки, поэтому не можем расширить свою долю рынка. По вакуумно-плазменному направлению среди российских производителей мы занимаем порядка 30-40% объема рынка, по сравнению с импортным оборудованием — меньше 10%.

— Значит, в каких-то областях будет легко достичь целевых цифр…

— …А в каких-то очень сложно. Например, по ионному легированию вообще утрачена производственная и конструкторская база. Высокоточная проекционная фотолитография, электронная литография…

— Это означает, что цели Минпромторга не будут достигнуты в каких-то секторах?

— Это зависит от политики Минпромторга и задач, которые там будут ставить перед производителями, проектировщиками, разработчиками оборудования. Если поставят задачу просто сделать установку ионного легирования в отрыве от потребителя, то, конечно, это будет нулевой вариант — будет создан какой-то макет, который нигде никогда не будет работать, но по нему кто-то сможет отчитаться. А если Минпромторг заставит потребителей оборудования работать в кооперации с производителями, если сами потребители будут ставить задачи по конструкторской разработке, производству и освоению сначала пилотного, опытного образца, потом рабочего образца, до постановки его на серийное производство — тогда можно получить результат, и достаточно быстрый. Но при этом финансировать разработку и производство опытного образца должно государство, в непосредственной связке с потребителем оборудования.

— И повлиять на потребителей, чтобы они брали отечественное?

— Конечно. Именно государство должно дать команду предприятиям, которые находятся в зоне влияния Минпромторга — «Ангстрему», «Микрону», фрязинскому «Истоку», московскому «Пульсару» и многим другим: у вас есть потребность в ионном легировании — поставьте задачу, назначьте ответственного производителя и исполнителя этого проекта. При такой постановке вопроса решить можно все.

— Вы считаете, это осуществимо, и не только по каким-то специальным узким направлениям, где влияние государства традиционно велико?

— Это осуществимо. Конечно, в первую очередь это относится к предприятиям, где государство имеет большое влияние. Но при наличии модели, уже отработанной на каком-то действующем предприятии, это будет востребовано и коммерческими структурами или предприятиями, выпускающими продукцию гражданского назначения, так называемый ширпотреб. Они сами не будут платить за разработку, это дорого, а они у нас не настолько могущественны, как международные корпорации, которые производят достаточно большое количество продукции.

— Например, «Ангстрем» сейчас оснащается линией AMD, «Микрон» думает о том, чтобы купить технологию 28 нанометров — это оборудование возможно разработать и делать в России?

— Нет, сегодня это нереально. Чтобы выйти на производство оборудования такого уровня потребуется еще много лет, это практически возможно только при очень серьезном финансировании и очень серьезно поставленных задачах. Но этого и не нужно делать. Даже в условиях санкций международная кооперация должна оставаться, и она никуда не пропала. Существуют достаточно хорошие производители оборудования в Юго-восточной Азии, в Корее, в Китае. Не все европейские страны прекратили с нами сотрудничество. Мы до сих пор покупаем оборудование специального назначения в Германии и в других странах Европы. Санкции не вечны, и надеюсь, что они когда-то закончатся. Однако делать то, что мы уже можем делать сами — при небольшой доработке, дооснащении, повышении качества в первую очередь — это уже возможно.

Могу привести пример по оборудованию плазмо-химического травления. НПП ЭСТО производит его в небольших количествах, и, в общем, недостаточно качественное. Это очень широкое направление — от травления, осаждения различных материалов, процессов, связанных с использованием различных газов, подложек, технологических задач. Зеленоградский НИИТМ тоже делает оборудование плазмо-химического травления и неплохо закрывает некоторые позиции. Но у нас всё равно принято считать, что импортное оборудование лучше. И за предыдущие лет пять Россия потеряла собственный рынок — мы контактируем с такими производителями оборудования, как Oxford Instruments, французский Coriаl, английский SРTS, немецкие Sertech, FHR и другие, они продали в Россию оборудования более чем на 200 миллионов долларов за это время. Этот рынок мог быть нашим при хотя бы небольшой возможности повысить качество нашего оборудования, а за собственные средства мы просто не в силах это сделать.

— Нужна поддержка государства и заказ от потребителей?

— Должен быть интерес потребителей и заказ на разработку, на создание моделей, соответствующих мировому уровню. Наши устройства, в общем-то, по технологическим параметрам иногда соответствуют мировому уровню, мы многие процессы получаем на своем оборудовании: так называемый Bosch-процесс, травление карбида кремния, травление различных диэлектриков и другие. Но качество оборудования низкое из-за того, что мы не можем вложить достаточно больших средств ни в его разработку, ни в производство, поскольку нет четких поставленных задач со стороны государства.

— А насколько импортозависимо ваше собственное производство? В плане комплектующих или материалов.

— Оно импортозависимо, но в любой момент мы можем поставлять заказчику оборудование и с нашими комплектующими, и с комплектующими, которые не попадают под санкции, из стран Юго-восточной Азии. При этом, если будут ставиться более широкие задачи импортозамещения, и мы поставим перед производителями комплектующих новые цели, и они могли бы повышать качество тех же насосов, регуляторов расхода газа и прочих комплектующих, которые входят в состав оборудования. То же самое с производителями материалов, газов и всех сопутствующих технологическому процессу изделий.

— В докладе вы предлагаете также создание совместных предприятий с мировыми производителями с целью локализации и прототипирования оборудования в России. У вас уже есть такие примеры и опыт?

— Примеры есть на стадии переговоров. Поскольку рынок по российскому оборудованию достаточно маленький — либо нулевой, либо 10-20% - создавать совместные предприятия с ведущими производителями оборудования на таком рынке тяжело и смысла нет. Но потенциальные переговоры ведутся. Например, с английской фирмой Termco о создании совместного производства термического оборудования (диффузионных печей, печей отжига и осаждения в вакууме и др.)

— Англичанам интересно разместить в России своё производство или это интересно вам, в первую очередь?

— Во-первых, они имеют мировое имя и огромный опыт в производстве термического оборудования высокого качества. Мы в этом оборудовании понимаем, сами немножко его делаем — методом глубокой модернизации импортного оборудования, либо старого советского. Мы готовы с ними сотрудничать по созданию производства в России.

Велись переговоры и с немецкими партнерами по созданию оборудования зондовых станций, измерительных станций, и со многими другими предприятиями, которые заинтересованы в производстве своего оборудования. Если мы с ними сотрудничаем и обеспечиваем поставку его на наши российские предприятия, то это тоже, я считаю, фактор импортозамещения, поскольку часть узлов мы будем делать на российских предприятиях или у себя, сборку и сервис будут обеспечивать российские специалисты. Важное условие — государство должно обеспечить рынок.

— Вы работаете с российскими смежниками? В каком состоянии в Зеленограде сейчас такие направления, как сверхчистые технологические материалы, химикаты, комплектующие?

— Сверхчистые газы выпускала зеленоградская «Логика», она стала заводом Air Liquid. Это неплохо, они имеют производство в России, и мы продолжаем покупать у них газы. Но мы не производители, у нас в Зеленограде только небольшое опытное производство, на котором мы отрабатываем свои технологические процессы. Мы должны стараться делать оборудование, работающее с российскими материалами, подложками и т. д. По регуляторам расхода газа, например, есть зеленоградские «Элточприбор» и «Микродатчик», и мы стараемся, если заказчик не против, ставить на свои установки регуляторы расхода газа их производства.

В Зеленограде есть точки сотрудничества. И я всегда был сторонником создания зеленоградского кластера, чтобы это взаимодействие между зеленоградскими предприятиями было более сильным. Для чего создаются кластеры? Кластер — это замкнутая структура, в которой все должны друг другу помогать. В Зеленограде есть два мощных якоря — «Ангстрем» и «Микрон», предприятия, которые должны загружать задачами остальных, да и другие должны стараться работать друг с другом, чтобы деньги не уходили из Зеленограда. Если предприятия работают в кластере дружно и открыто, кластер становится более мощным, сами предприятия становятся более сильными на рынке, и этот кластер начинает привлекать извне других.

Такой кластер создан, например, в Silicon Saxony в Германии из предприятий микроэлектроники вокруг Дрездена, которые тесно сотрудничали друг с другом, а сегодня в этом кластере все мировые лидеры. Так же должно быть и в Зеленограде. Но чтобы это было, надо начинать с себя в первую очередь.

— Зеленоградскому кластеру уже три года: какими вы видите результаты? Дружно и открыто что-то делается?

— Должны появиться лидеры, которые тянули бы всех за собой и могли влиять на всю ситуацию. Такие лидеры в Зеленограде есть, и достаточно сильные, они смогли сплотить вокруг себя много предприятий: скажем, Зеленоградский инновационно-технологический центр во главе с В.А.Беспаловым, который собрал вокруг себя достаточно много сильных малых предприятий. Думаю, руководству «Корпорации развития Зеленограда» и Владимиру Владимировичу Зайцеву надо более тесно сотрудничать и перенимать этот опыт, а также иметь своё влияние на предприятия, которые кластер должен объединить.

Должно быть не только формальное общение между предприятиями, но и какие-то неформальные встречи. У кластера должны быть рычаги — и административные, и финансовые — и в этом его должна, и я надеюсь, поддерживает префектура Зеленограда, чтобы предприятия кластера Зеленограда теснее работали друг с другом, чтобы деньги не уходили из Зеленограда. Ведь это бюджет города, благосостояние города, более чистые улицы, более свежий воздух и так далее.

Кроме того, сама программа кластера и финансирование проектов плохо движется из-за сложной ситуации в стране. Да, один или два проекта получили поддержку через кластер. Но влияние кластера должно быть и в том, чтобы зеленоградское предприятие максимально тратило эти деньги с участием других предприятий Зеленограда. Не просто закупало на них импортное оборудование — я понимаю, от этого никуда не деться, оно нужно и необходимо. Но нужно и подключать какие-то малые фирмы, разработчиков. Насколько я знаю, ЗИТЦ вложит много средств в выращивание стартапов. Думаю, там будут стараться не просто отдавать деньги на сторону, а как можно больше денег оставить в Зеленограде.

— Какие надежды вы связываете с кластером, что вам уже принесло участие в нем?

— Я надеюсь на сотрудничество, на то, что предприятия Зеленограда будут больше заказывать оборудования, размещать заказы на разработку, на сервис, поддержание, модернизацию оборудования. Это вещи, с которыми мы справляемся и которые мы обеспечиваем. Группа компаний ЭСТО в свое время вела и техобслуживание на «Ангстреме», и на «Микроне» мы ремонтировали оборудование — еще старое российское. В Зеленоградский наноцентр поставляли оборудование, как собственного производства, лазерное, так и импортного производства. Поставляли и обеспечивали сервис. В этом отношении мы хотим возлагать на кластер большие надежды.

— В рамках кластера недавно создана Ассоциация электронного машиностроения при участии НПП ЭСТО. Какие у неё задачи?

— Да, группа компаний «ЭСТО», НТ-МДТ и НИИТМ — основные предприятия этой Ассоциации, а кластер один из её учредителей. Это некоммерческая организация, которая объединила машиностроительные предприятия, не только зеленоградские, и я думаю, в ней всё больше будет не зеленоградских предприятий. Калининградский «Кварц» уже проявляет большое желание вступить в Ассоциацию (в свое время было это предприятие, подчиненное НИИТМ в рамках 6-го Главка Минэлектронпрома). Фирма «АБАИР» в Нижнем Новгороде, с которой мы сотрудничаем по производству оборудования для мокрых процессов, тоже стремится в ассоциацию. Компания «Сорэнж» из Санкт-Петербурга, которая делает блоки питания для нашего термического магнетронного оборудования, выпускает фотолитографическое оборудование — они тоже подали документы в ассоциацию. Вступило в неё и черноголовское предприятие «ЗАН».

Ассоциация создана, чтобы обеспечить предприятиям возможность более мощного и влиятельного взаимодействия с институтами власти — Минпромторгом, «Росатомом» — в продвижении машиностроительного оборудования. Кроме того, она должна усилить международное партнерство, потому что Ассоциация это более сильная структура, чем разрозненные компании. Они должны не конкурировать на одном и том же рынке, а разделять сферы влияния и обеспечивать более сильное производство того, на чем специализируется какое-то из предприятий.

— У вас нет ощущения, что это похоже на попытку восстановить электронную отрасль Советского Союза?

— Нет. В этом случае у наших усилий было бы достаточно мощное финансирование, возникали бы мощные инвестиционные проекты. А сегодня все инвестиции в России направлены в нефтегазовую отрасль. Получить кредитование, даже не государственное, а из любого другого источника, в высокие технологии просто невозможно. Институты, созданные государством, такие как «Роснано», Сколково, управляются юристами и экономистами, они в нашей области ничего не понимают. Поэтому нет каких-то серьезных структурных процессов, при которых деньги были бы направлены на развитие высоких технологий. Ничего не делается, кроме декларирования.

Должен быть пул технических специалистов и грамотных экономистов, которые бы работали вместе. Нынешние юристы и финансисты-экономисты говорят технарям: разработайте нам бизнес-план, потом приходите, а уж мы знаем как оценить. Но как разработчики и производственники могут написать «хороший» бизнес-план без участия самих экономистов?! Инженер знает, что его продукт востребован, перспективен, имеет мировой уровень, но доказать это в нашей нестандартной экономической реальности никак не может. А все существующие институты развития и поддержки инноваций построены просто: приходи с красивым планом — получишь финансирование. Поэтому туда приходят с красивыми планами такие же финансисты-юристы, а не разработчики и новаторы.

— Ваши впечатления о прошедшем форуме SEMICON Russia — он был для вас полезен? Представляет ли форум сегодня электронную отрасль России и ее развитие?

— Форум очень полезный, но к нему нет практически никакого внимания со стороны государства. Оно делегировало на это событие не первых и не вторых лиц из Минэкономразвития, «Роснано» и т. д., которые, в общем, ничего не решают. Не было представителей Минпромторга, «Росатома», «Роскосмоса», «Ростехнологий», определяющих игроков в нашей микроэлектронной области и в полупроводниковой промышленности. А раз нет внимания со стороны органов государственной власти…

Хорошее выступление на форуме было у директора «Мосэлектропроекта», который уделил много внимания электронному машиностроению и задачам его развития. Правда, в его выступлении не прозвучало, на какие предприятия «Мосэлектропроект» рассчитывает. Выступления международных представителей касались, в основном, рынка мирового микроэлектронной продукции — как он успешно развивается, развивался и будет развиваться, с оценкой доли России, которая сегодня очень мала. Поэтому ведущим мировым лидерам мы не интересны. Когда государство по-настоящему повернется лицом к высоким технологиям, а Зеленоград, я считаю, территория высочайших технологий по российским меркам, тогда и будут какие-то результаты.

Елена Панасенко