Моя принадлежность к микроэлектронике определилась, наверное, с поступления на вновь организованную и "модную" в то время кафедру полупроводниковых и электровакуумных материалов на 4-м курсе Московского химико-технологического института им. Д.Менделеева.
Первые практические навыки я получила на Томилинском заводе полупроводниковых приборов, в прекрасном коллективе молодых, энергичных, веселых коллег технологов, немалая часть которых ныне трудится на предприятиях Зеленограда, в том числе и в НИИМЭ: С.ГАРЯИНОВ, Г.КАЗЕННОВ, М.ЛУКАСЕВИЧ, Б.БЕЗБОРОДНИКОВ, О.БОЧКИН, Н.ЧЕРНОВА и многие другие.
В тот период мы занимались производством дискретных диодов и транзисторов на германии и кремнии. У меня сохранился диод-монстр - 1 элемент на кристалле (в нынешних СБИС более 100 тыс. элементов).
На нашем предприятии работаю с самого открытия. И даже раньше участвовала в завершающей стадии его строительства в качестве рабочей силы.
Позже я принимала участие в запуске оборудования и химических процессов почти всех новых кристальныхпроизводств завода "Микрон": цеха 01, "Верхнего модуля", "Нижнего модуля" и становлении нового производства по изготовлению - впервые в отечественной микроэлектронике - интегральных схем с проектными нормами 1,2-0,8 мкм и 0,8-0,5 мкм в ЗАО "Корона Семикондактор".
Надо сказать, что в производстве интегральных схем 60% занимают процессы химической обработки с использованием большого количества жидких агрессивных химических реактивов. Поэтому они во многом определяют качество схем.
В первые годы существования нашего предприятия на химических операциях использовалось большое количество органических растворителей (ацетон, толуол, четыреххлористый углерод, трихлорэтилен и др.) и неорганических кислот (азотной, серной, соляной, фтористоводородной), загрязняющих окружающую среду и вредных для здоровья людей. Поэтому первым большим этапом работы химиков-технологов было сокращение их потребления с заменой водно-композиционными растворами. Это улучшило качество обрабатываемых деталей и экологическую обстановку.
Затем был переход от многостадийных последовательных обработок полупроводниковых пластин в агрессивных кислотах к одно- и двухстадийным процессам в гораздо менее токсичных аммиачно- и соляноперекисных смесях.
Еще одним существенным результатом была разработка процессов и оборудования рециркуляционной фильтрации реактивов на рабочих местах. Это позволило улучшить качество технологических сред и сократить расход реактивов.
Совместно с Томским политехническим институтом мы разработали технологию производства электрохимически активированной серной кислоты. Работа превосходит по своей экономичности и простоте воплощения зарубежные аналоги, позволяет сократить расход реактивов в десятки раз.
В последние годы под руководством В.ЯСНОВА был разработан сложный комплекс очистки деионизованной воды, который позволил получить конечный продукт на уровне мировых стандартов.
Все эти работы дали большой экономический эффект, многие из них защищены авторскими правами. Но все это я делала, разумеется, не в одиночку. Мне всегда везло с коллективом, и это помогало в работе. Я рада, чтои с моим участием формировались отличные кадры химиков-технологов на нашем предприятии: И.СЕЛИВАНОВА, К.КОМОВ, Т.ШМЕЛЕВ, Х.ЛЕРНЕР, Т.САФРОНОВА, И.САМОХИНА, Н.ПОРВИНА, Н.ИВАШКОВА.А также рядом работали асы-химики: Р.ГРИНЧУК, Н.НОВАК и Т.БАКЕЕВА. Не могу не отметить особой благодарностью моих руководителей - зам. генерального директора ЗАО "Корона Семикондактор" и начальника Центра перспективных технологий АООТ "НИИМЭ и завод "Микрон" А.ПРОСИЯ, начальников отдела М.ЛЕРНЕРА, В.ЯСНОВА, с которыми я тружусь в настоящее время, и моих первых наставников - А.МИЛОВА и, к сожалению, ушедшей от нас А.ЛУБАШЕВСКОЙ.
Нынешняя молодежь, наверное, в силу социальных условий в стране, относится к работе прагматично. Я жевсегда работала с удовольствием и увлечением. Может быть, поэтому до сих пор у меня сохранился интерес к работе и к жизни.
Подготовила И.ЮНИСОВА