Более чем в полтора раза выросло производство Зеленоградского наноцентра (ЗНТЦ) — введено в эксплуатацию свыше 600 кв.м. новых производственных площадей. Модернизация площадки открывает отечественным предприятиям доступ к таким технологиям, как 3D-интеграция многокристальных модулей, а также к сборке силовой и СВЧ-электроники на нитриде галлия и интегральной фотоники, сообщили в наноцентре. Теперь здесь смогут изготавливать сложную микроэлектронную продукцию: микросхемы для источников питания, электрических двигателей и систем связи. Это позволит стартапам, которые поддерживает наноцентр, и инновационным компаниям-заказчикам создавать конкурентоспособные разработки.

«Задача зеленоградского наноцентра — преобразование науки в рыночные решения и готовые продукты, — подчеркивает генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалев. — Малым предприятиям, стартапам, студенческим проектам специалисты наноцентра помогают оптимизировать конструктивные решения, изготовить прототипы и опытные партии изделий. ЗНТЦ не только софинансирует проекты и предоставляет производственную линию, но и помогает компаниям выйти на рынок».

Зеленоградский наноцентр был учреждён в 2010 году «Роснано» при участии МИЭТа и Зеленоградского инновационно-технологического центра. В основу его производственных мощностей легла технологическая линейка изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), которая была создана МИЭТом в рамках федеральной целевой программы «Развитие инфраструктуры наноиндустрии».

В 2013 году на 1100 кв.метров производственных помещений ЗНТЦ почти половина приходилась на чистые комнаты. Теперь к ним добавились еще 600, из которых 400 — чистые производственные помещения класса 7 ISO. Развитие получила линия сборки и тестирования микросхем (систем на кристалле, МЭМС и НЭМС с топологическим уровнем до 350 нм на кремниевых пластинах 150-300 мм) — её мощность выросла в результате обновления в полтора раза, со 100 тысяч до 150 тысяч шт/месяц. Продолжает действовать и собственный цикл кристального производства наноцентра в «чистых комнатах» площадью 850 кв.метров класса 10-1000.

Модернизированный производственный блок обеспечивает дополнительные возможности 3D-сборки с применением актуальных технологий: 3D-cборка flip chip, 3D TSV; многоуровневая сборка с максимальной точностью разварки и минимальным размером контактных площадок; cборка в BGA-корпуса с контактными площадками под поверхностью кристалла — возможна посадка 10 тысяч и более контактов, уточняют в наноцентре.

«У нас появились новые технические возможности сборочного производства — теперь мы можем работать с пластинами диаметром 300 мм, расширились технологические опции сборки многовыводных микросхем, например, сборка по современной технологии flip chip для процессоров, — рассказал „Зеленоград.ру“ Анатолий Ковалёв. — При этой в сборке мы на 40% используем чипы собственного производства, на 60% - загрузка со стороны».

Технологии 3D-сборки используются, в частности, для сокращения габаритов приборов и аппаратуры. Помимо увеличения плотности компоновки микросхем в два-три раза 3D-сборка позволяет улучшить технические характеристики конечной продукции — приборов и аппаратуры — в частности, увеличить в полтора-два раза их быстродействие.

Обновленный парк оборудования позволит ЗНТЦ расширить контрактное производство «под ключ» микросхем, высокоинтегрированных многокристальных электронных модулей и гибридных 3D-микросборок.

Модернизацию производства наноцентр профинансировал за счёт собственных и заёмных средств, без привлечения бюджетных инвестиций. Общий объём вложений, по словам Анатолия Ковалёва, составил около 400 миллионов рублей. Возведением 600 кв.метров «чистых комнат» для нового производственного участка занимался партнёр ЗНТЦ, компания «Системные решения».

Уже более десяти лет Зеленоградский наноцентр действует как база для развития технологических стартапов и технологический комплекс разработки и опытного производства изделий наноэлектроники и микросистемной техники. Наноцентр входит в состав инвестиционной сети Фонда инфраструктурных и образовательных программ (ФИОП) группы «Роснано» и расположен на площадке «МИЭТ» особой экономической зоны (ОЭЗ) «Технополис Москва» — одной из первых площадок ОЭЗ «Зеленоград».