Предыдущие технологии — 180 и 90 нм — «Микрон» покупал у французской компании STMicroelectronics, но за 65 нм взялся сам при финансовой помощи государства. «Микрон» сэкономит на покупке лицензии, а государство получит независимость от зарубежных технологий, хотя ключевое оборудование всё равно закупается за рубежом.

Уменьшение размера микросхем приводит к большей производительности, меньшему энергопотреблению. Разработка технологии заняла около двух лет, в декабре получили первые работающие тестовые кристаллы, в марте установят оборудование, необходимое для серийного производства, а в апреле начнут делать микросхемы собственной разработки.

Сторонние дизайн-центры получат правила проектирования под новое производство к сентябрю и это позволит запустить их разработки в «серию» до конца 2014 года, считают на «Микроне».

Кому надо

Одним из первых заказчиков нового производства может стать зеленоградский «Элвис», который уже выпускает на «Микроне» чипы по технологии 90 нм и больше, но свои разработки по меньшим размерам (в том числе 65 нм в совместном проекте с «Роснано» по видеоаналитике) вынужден размещать на зарубежных фабриках. «Мы очень хотим, чтобы всё производство было в России», говорил раньше Zelenograd.ru представитель «Элвиса».

На «Микроне» рассказали, что заказы у них также готовы размещать компании «МЦСТ» (разрабатывает вычислительные модули и микропроцессоры) и НИИМА «Прогресс» (разрабатывает оборудование ГЛОНАCC и микросхемы для спецприменения). «Мы предоставляем дизайн-центрам адекватный сервис и постепенно подводим их к тому, чтобы они могли производить у нас и разрабатывать на базе нашей технологии изделия, особенно для внутреннего рынка, при этом работая на опережение», рассказывал раньше Zelenograd.ru руководитель «Микрона» Геннадий Красников.

Микросхемы с топологическим размером 65 нм — одни из самых востребованных на мировом рынке, они используются во множестве изделий микроэлектроники, говорят эксперты, опрошенные газетой «Ведомости». Но успех такого производства зависит от рынка сбыта — чем он шире, тем ниже себестоимость, так что все зависит от стратегии продвижения и маркетинговой политики «Микрона». Вопрос не столько в размере чипов, сколько в успешности бизнес-модели.

Мало только продолжать осваивать новые технологии в рамках своей бизнес-модели, говорит Дмитрий Бычков, эксперт зеленоградского дизайн-центра «КМ211», который недавно стал официальным представителем в России крупнейшей микроэлектронной фабрики TSMC. Для игроков растущего рынка российской микроэлектроники важно решение целого клубка проблем, стоящих между запросами потребителей и заветными нанометрами: от опций техпроцесса — до процентов выхода годных, корпусировки и ритмичности производственных процессов. Интерес российских дизайн-центров к новому производству «Микрона» зависит от того, какие опции техпроцесса 65 нм готов предложить «Микрон» конечным потребителям. Практика показывает, что техпроцесс начинается с «голой цифры», подходящей, например, для скоростной логики, памяти и процессорных блоков. Бычков уверен, что опыт освоения технологии 90 нм позволит «Микрону» быстрее запустить производство новых 65-нм полупроводниковых приборов.

Первое серийное изделие по 65-нм технологии будет довольно простым — это универсальная память ОЗУ емкостью 16 Мб (100 млн транзисторов), используемая в различных вычислительных системах. Её производство позволит хорошо оценить процент выхода годных изделий, передает Cnews.ru слова Красникова. Потом планируется освоить в серийном производстве другие логические и аналогово-цифровые полупроводниковые приборы, в том числе со встроенной памятью: процессоры и микропроцессоры, ЦАП/АЦП, программируемая матричная логика и другие.

Существенно и то, что новое производство находится «рядом» с российскими разработчиками, считает Бычков. Это имеет особое значение при производстве по госзаказам, когда важны детали их исполнения, и наоборот, при крупносерийном производстве, когда играет роль защита рынка таможенными пошлинами.

Кто заплатил

На разработку технологии 65 нм на «Микроне» потратили в общей сложности три миллиарда рублей, рассказал представитель предприятия Алексей Дианов. Платил сам «Микрон» и государство. На оборудование и инфраструктуру каждая сторона потратила около миллиарда, на научно-исследовательские и опытно-конструкторские разработки (НИР и ОКР) государство потратило около 350 млн рублей, а «Микрон» — 650 млн.

Создание опытного производства и разработка базовых технологий изготовления специализированных больших интегральных схем, в том числе технологии изготовления комплементарных полевых транзисторных структур до уровня 65 нм предусмотрено федеральной целевой программой «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники на 2008 — 2015 годы». Начиная с 2012 года «Микрон» выполняет четыре ОКРа, непосредственно связанных с разработкой технологии 65-45 нм по контрактам с Министерством промышленности и торговли. Это разработка базовой технологии для изготовления самих интегральных схем, технологической платформы и фотошаблонов, а также изготовления цифро-аналоговых СБИС для RF приложений. Общая сумма по этим контрактам — 635 млн рублей. Кроме того, государственный контракт на технологию создания кремниевых эпитаксиальных структур для микросхем 65-32 нм за 110 млн рублей исполняет зеленоградская компания «Эпиэл», которая располагается на территории «Микрона».

Что дальше

Для нового производства 65 нм используется в основном существующая линия 90 нм на пластинах диаметром 200 мм — пришлось докупить лишь несколько единиц технологического оборудования. После отработки технологии «Микрон» будет формировать портфель заказов на новую технологию. Расширение производства на новой фабрике с диаметром пластин 300 мм (место под неё зарезервировано на площадке «Алабушево» зеленоградской Особой экономической зоны) по-прежнему под вопросом.

«Фабрика на пластинах 300 мм должна строиться, когда имеешь поставки под эту продукцию, — говорил год назад Геннадий Красников. — Поэтому мы хотим быстро сделать 65 нанометров на пластинах 200 мм, набрать критическую массу заказов и затем переносить отработанную технологию на новое производство, имея уже под него заказы». Наберётся ли заказов на новую фабрику — неизвестно.

А пока «Микрон» продолжает осваивать новые технологии. В декабря предприятие подписало контракт с Минпромторгом на выполнение исследования технологии литографии для уровня 45 нм. Финансирование по контракту — 32 млн рублей, срок исполнения — ноябрь 2015 года.