— Когда вы закончили МИЭТ и пришли работать на «Микрон», Камиль Ахметович уже ушёл с предприятия. Как произошла ваша первая встреча?

— Учась в МИЭТе, я с ним был знаком заочно, потому что занимался по его книгам и слушал лекции, которые читали его ученики. Камиль Ахметович ушел с «Микрона» в 1977 году, а я пришёл в 1981, поэтому познакомился с ним лишь в конце 80-х годов.

Тогда вышло большое постановление правительства СССР об ускоренном развитии электронной промышленности, в рамках которого был создан Физико-технологический институт Академии наук с филиалом в Ярославле. Камиль Ахметович стал директором этого института, перейдя туда из ФИАНа. Он начал заново целенаправленно строить именно микроэлектронные технологии, и когда приехал сюда со своими учениками, в том числе с Орликовским Александром Александровичем, мы начали взаимодействовать по технологическим работам. А потом уже была большая работа в ярославском институте, который по микроэлектронике был филиалом Академии наук. С тех пор у меня начался достаточно плотный контакт с Камилем Ахметовичем.

— Я читал разные материалы о его работе на «Микроне» и складывается впечатление, что он всё время разрывался между работой ученого и администратора. Кто он для вас в первую очередь?

— Конечно, Камиль Ахметович — в первую очередь выдающийся ученый и я его всегда воспринимал только с этой стороны. Ведь руководить научно-исследовательским институтом — НИИ молекулярной электроники — может только ученый. Надо постоянно принимать решения: с одной стороны, какие направления развивать, с другой — адекватно оценивать результаты научно-исследовательской работы, определять проблемные вопросы и их решать. Это может делать только учёный.

У нас почему-то, особенно в конце 90-х годов, появилась тенденция, что есть администратор, который может руководить любой отраслью. Но я не представляю, как можно руководить, не понимая те вопросы, которыми ты руководишь.

Микроэлектроника — это результат работы больших коллективов. Для примера, на технологическом маршруте 90 нанометров у нас 4500 микроопераций и малейшее изменение каждой операции изменяет всё. А за каждой операцией лежат глубочайшие исследования в области литографии, плазменных процессов, процессов осаждения, физики переходных областей, и это все нужно сшить в единое целое. Здесь и проявляется руководитель, который может решить такую сложнейшую задачу.

Безусловно, результаты НИИМЭ с 1965 по 1977 год связаны с Камилем Ахметовичем. И разработанные тогда продукты «Микрон» выпускал ещё в течение 10-20 лет — такая база была заложена.

— То есть, понимание руководителем научной составляющей всего процесса и позволило наладить производство?

— Конечно, особенно когда мы говорим о повышении процента выхода годных. Это уже связано с глубоким пониманием процессов, происходящих в кремнии, в переходных областях диоксида кремния. И не только понимание, но и организация работ — если их неправильно спланировать, неправильно оценить результаты, можно вообще зайти в тупик.

А тогда были получены конкретные результаты, что и было отмечено — в НИИМЭ Камиль Ахметович стал членом-корреспондентом Академии наук, получил и государственную, и Ленинскую премию.

— На ваш взгляд, какие вызовы стояли перед Камилем Ахметовичем в годы создания и руководства институтом и производством?

— НИИМЭ был создан в 1964 году, когда со дня изобретения первой интегральной микросхемы прошло буквально несколько лет. Тогда еще не готовили специалистов именно в этой области, нужно было из многих отраслей и направлений собирать коллектив и фактически с нуля начинать развивать микроэлектронное направление. А это целый спектр различных работ: это и физика, и материаловедение, и технологическое оборудование — какие требования, какие параметры. Нужно понимать физику всех процессов, ведь как я уже говорил, каждая операция влияет на предыдущие, и их надо увязать в единое целое. Это колоссальная работа и я считаю, именно с этого периода стала создаваться отрасль.

Не зря же Камиль Ахметович возглавил кафедру в МИЭТе, потому что и программы обучения МИЭТа он совершенствовал в этот период. Тогда стало понятно, что мы должны для себя готовить специалистов и учить их тому, что в первую очередь нужно.

Чтобы сократить время от разработки до внедрения, надо весь коллектив сориентировать на решение этой задачи: это и кадры, и те функциональные подразделения, которые должны быть для оперативного решения вопросов. На самом деле это сложная работа, и я могу сказать, что впечатляет самоотдача людей в тот период. Ведь не зря многие просто сгорали на работе; достаточно вспомнить Малинина, который возглавлял НПО «Научный центр», директора НИИТМ и других руководителей.

Кстати, мне и сам Камиль Ахметович говорил, что 13 лет руководства НИИМЭ сильно сказались на его здоровье; если бы он работал в таком режиме и дальше, то его здоровье могло и не выдержать, потому что это была постоянная стрессовая ситуация. Я и сам застал период, когда поставленные задачи нужно было решать в любом случае, а никакие объяснения не воспринимались.

— Вы уже сказали, что тогда надо было создавать базу для воспроизводства кадров и решалось это в том числе через МИЭТ. Какая здесь роль Камиля Ахметовича?

— Во-первых, достаточно молодой завкафедрой и уже член-корреспондент — это было тогда очень важно с точки зрения определенного авторитета для МИЭТа, который сам был образован в 1965 году.

Коллектив, который создал Камиль Ахметович в НИИМЭ — это и Орликовский Александр Александрович, и многие начальники лабораторий — они одновременно преподавали на кафедре. К тому времени, когда я учился на 4-м курсе, Камиль Ахметович уже ушёл, но на лекциях, на практике я взаимодействовал с людьми, которых он воспитал. Поэтому слава и разговоры о нём как об уважаемом ученом были у нас уже со студенчества.

— Как бы вы оценили его уровень, как ученого, в российской и мировой науке?

— Я считаю, что в области физики полупроводников, в области развития микроэлектронных технологий, в основе которых лежит глубокая наука, безусловно, он крупный ученый, фактически один из лидеров в области микроэлектроники в советское время. Да и в российский период Камиль Ахметович воспринимался как ведущий ученый в области микроэлектроники. Его хорошо знали и за рубежом. Он был бессменным организатором международных конференций по микроэлектронике, которые регулярно проводились в Звенигороде.

В последний период своей научной деятельности, он глубоко ушел в развитие технологии квантового компьютера. Все его статьи и эксперименты шли на передовом уровне и Камиль Ахметович считается родоначальником направления квантовых компьютеров в России.

— Можно ли говорить, что Камиль Ахметович создал научную школу?

— Я приведу простой пример. Возьмем Зеленоград: у нас тогда была стандартная ситуация, когда работали в связке НИИ и завод. Был не только НИИ молекулярной электроники и завод «Микрон» при институте, это НИИ точных технологий и завод «Ангстрем», НИИ точного машиностроения — завод «Элион», НИИ материаловедения — завод «Элма», НИИ физических проблем, НИИ «Зенит»... достаточно много НИИ. Но если мы посмотрим, сколько ученых из какого института вышло, то можно увидеть разницу: допустим, из школы НИИМЭ вышло четыре академика СССР и Российской Академии наук, три членкора. Нигде даже близко такого не было.

Это же не просто так — должна быть создана определенная атмосфера, которая позволяла бы заниматься научно-исследовательской работой. И поэтому когда я пришел, уже была определенная школа, определенные подходы и традиции; здесь приветствовались занятия наукой, что является неотъемлемой частью микроэлектроники.

— Что лично вам дало общение с Камилем Ахметовичем?

Я очень много пытался взять от него в научном подходе, когда он скрупулёзно каждую статью вычитывал, находил там не только орфографические ошибки, но и по сути; и его взгляды на развитие микроэлектроники. Ведь микроэлектроника — вещь очень сложная и постоянно есть, казалось бы, неразрешимые задачи. Но проходит время и находится их решение — в этом основа развития. И у нас очень многое совпадало в обсуждении проблем и путей их решения. Я чувствовал, что мы одинаково мыслили по развитию микроэлектроники. Его мнения, подходы мне очень помогли, чтобы правильно позиционировать развитие разработок в НИИМЭ и на «Микроне».

Когда работаешь в такой большой уважаемой компании с историей, есть множество вопросов: почему так или иначе были приняты определенные решения, выбраны направления. Мне приходилось много с ним разговаривать, находить ответы.

Понятны и ориентиры, потому что в последнее время мы много разговаривали и по квантовым компьютерам, и по развитию микроэлектроники с точки зрения минимизации размеров, и с точки зрения альтернативных решений на основе других материалов. Это общение со временем даёт правильные решения. И сейчас логика развития НИИМЭ понятна, в том числе благодаря Камилю Ахметовичу.